直流负压溅射和直流溅射 在直流溅射中,带正电的离子被吸引到接地的、带负电的溅射靶上,从靶材上溅射出原子,然后这些原子在样品(也称为衬底)上沉积形成薄膜。通常情况下,溅射靶被接到正,而样品端(衬底)被接到负或接地。 然而,..
探头故障现象、原因及排除方法1、沉积期间厚度读数大跳变a. 不良晶片产生 解决方案:换晶片b. 晶片接近其使用寿命 解决方案:换晶片c. 晶片支承座表面有杂物 解决方案:用酒精或细砂皮清洗支承座d. 来自溅射源的频率干涉 解决方案:&n
1、空气的液化温度取决于空气的组成成分。一般来说,空气主要由、氧气和少量其他气体组成。在标准大气压下(约为1个大气压,相当于101.325千帕),液态氮的沸点约为-196摄氏度(-321华氏度),液态氧的沸点约为-183摄氏度(-297华氏度)..
1. 工作频率:40KHz等离子清洗机的工作频率为40千赫(40,000赫兹),而13.56MHz等离子清洗机的工作频率为13.56兆赫(13,560,000赫兹)。工作频率不同会导致设备清洗效果和适用范围上的差异。2. 清洗效果:40KHz的低频等离子清洗对于大多..